楂樼簿搴︾传澶栧厜璀滃剙鏄皥鐐洪珮鎬ц兘鍏夎瓬杓诲皠搴︽脯(c猫)閲忚�岃ō(sh猫)瑷�(j矛)銆佸埗閫狅紝鍏夎瓬鑼冨湇鍙仈(d谩)200nm-900nm銆俇SB鏁�(sh霉)鎿�(j霉)鎺ュ彛锛屽厛閫�(j矛n)鐨勯Μ閬�(d谩)鎺у埗绯荤当(t菕ng)锛屼互鍙婃暩(sh霉)瀛椾俊铏�(h脿o)铏曠悊鎶�琛�(sh霉)锛屼娇寰楅�欑ó鍩轰簬鎺冩弿姗�(j墨)妲�(g貌u)鐨勫厜璀滃剙閬�(d谩)鍒� CCD鍨嬪厜璀滃剙鐨勬脯(c猫)瑭﹂�熷害锛屼絾鍗绘瘮CCD鎬у厜璀滃剙楂樺嚭10-20鍊嶇殑瑙ｆ瀽搴�锛屼互鍙婅秴閬� 4鍊�(g猫)鏁�(sh霉)閲忕礆(j铆)鐨勯洔鏁ｅ厜鎶戝埗姘村钩銆�
鍏夎瓬鍎�绲�(ji茅)妲�(g貌u)銆佸収(n猫i)缃帰娓�(c猫)鍣ㄣ�佹帶鍒跺櫒绛�锛屽叏閮ㄥ皝瑁濆湪涓�鍊�(g猫)绠遍珨鍏�(n猫i)锛屽挤(qi谩ng)澶у姛鑳界殑杌熶欢锛屾槸鐨勬脯(c猫)瑭﹀缓绔嬪拰鎿嶄綔闈炲父绨�(ji菐n)鍠槗鐢�銆�
纭欢鐗�榛�(di菐n)锛�
路 鐪熸鐨� 200 - 900 nm娉㈤暦(zh菐ng)鑼冨湇
路 蹇�熸巸鎻忔ā寮忓彲瀵�(sh铆)鐝�(xi脿n)鏈�蹇脯(c猫)瑭﹂�熷害锛屽苟淇濊瓑绮惧害
路 楂樺嫊(d貌ng)鎱�(t脿i)鑼冨湇
路 瓒呴珮瑙ｆ瀽搴﹀拰妤典綆闆滄暎鍏�
路 杌熶欢浣垮緱娓�(c猫)瑭︽搷浣滅啊(ji菐n)鍠槗鐢紝骞舵彁渚涘悇绋垎鏋愬姛鑳�
路 USB浣垮緱閫ｆ帴绨�(ji菐n)鍠�锛屽苟淇濊瓑楂樻�ц兘鎿嶄綔
路 DSP淇¤櫉(h脿o)铏曠悊鎶�琛�(sh霉)瀵�(sh铆)鐝�(xi脿n)鏇村揩鎺冩弿閫熷害銆佹洿浣庡櫔鑱�锛屼互鍙婃洿澶氱殑鍏夎瓬绲�(ji茅)妲�(g貌u)绱�(x矛)绡�(ji茅)
路 楂樿灏勬晥鐜囧厜鏌电祼(ji茅)鍚� TE鍒跺喎鐨勯珮闈堟晱搴﹀厜闆诲�嶅绠℃帰娓�(c猫)鍣�
路 鍙洿鎻涘浐瀹氬厜瀛�(xu茅)鐙圭斧鍙互鐛插緱涓嶅悓鐨勫厜瀛�(xu茅)甯跺锛�0.4鈥�10 nm锛�
路 鎵嬪嫊(d貌ng)瑷�(sh猫)瀹氬柈榛�(di菐n)鎴栭粸(di菐n)灏�(du矛)榛�(di菐n)鐩�(ji膩n)鎺фā寮忕敤浜庨珮閫�銆侀珮绮惧害娓�(c猫)瑭�
路 璞愬瘜鐨勫彲閬告脯(c猫)瑭﹂檮浠舵豢瓒充笉鍚屾噳(y墨ng)鐢ㄩ渶姹�
闆绘�х壒榛�(di菐n)锛�
路 娉㈤暦(zh菐ng)鑼冨湇锛�200 - 900 nm
路 绶氭�ц壊鏁ｏ細1.35nm/mm
路 娉㈤暦(zh菐ng)婧�(zh菙n)纰烘�э細卤0.15nm
路 娉㈤暦(zh菐ng)閲嶅京(f霉)鎬э細卤0.05nm
路 Resolution full/reduced slit height锛�0.25/0.1nm
路 闆滄暎鍏夋姂鍒禓2.5FWHM锛� 10-8
路娉㈤暦(zh菐ng)閲囬泦閫熷害锛�30nm/sec